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SiC/Si上六方YMnO3薄膜的制备和铁电性能

刘越峰 , 郑海务 , 张华荣 , 王超 , 马兴平 , 顾玉宗

硅酸盐通报

采用化学溶液法在 SiC/Si 上制备了YMnO3 薄膜.XRD 结果显示所制备的薄膜为六方YMnO3,且具有部分择优取向生长.拉曼光谱和XPS的结果验证了样品为六方纯相YMnO3.以 Pt 为顶电极,测试了 YMnO3 薄膜的电滞回线,结果显示YMnO3 薄膜具有良好的铁电性质.

关键词: 六方YMnO3 , 薄膜 , SiC/Si , 电滞回线

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