刘谊
,
刘永胜
,
张立同
,
成来飞
,
徐永东
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.04.035
以SiCl4-NH3-H2为反应体系,采用化学气相渗透(CVI)法制备Si3N4P/Si3N4透波材料.XRF测试表明试样主要含Si、N、O三种元素.XRD测试表明复合材料主要成分为α-Si3N4和非晶沉积物和非晶SiO2,并有微量的β-Si3N4和晶体Si,高温热处理可使非晶沉积物转变为α-Si3N4和β-Si3N4.SEM照片显示颗粒团间结合不够致密,残留气孔偏大.试样的弯曲强度最高为94MPa,介电常数为4.1～4.8.
关键词:
Si3N4P/Si3N4透波材料
,
化学气相渗透(CVI)
,
弯曲强度
,
介电常数
