何乐年
功能材料
用傅里叶红外吸收(FT-IR)光谱研究了等离子体化学气相沉积法(PECVD)制备的非晶siO2薄膜(a-SiO2)的Si-(O-Si键的红外吸收特性与膜厚的关系.Si-O-Si伸缩振动模在1050cm-1和1150cm-1附近分别有两个吸收峰,弯曲振动模在800cm-1附近有一个吸收峰.1050cm-1和1150cm-1吸收带的积分强度随着膜层的递增而增加,而800cm-1吸收带的积分强度不随膜层的递增而变化.因此我们推测薄膜密度不随膜厚而变化,1050cm-1吸收带的积分强度随着膜层的递增而增加的原因是由于1150 cm-1吸收带对1050cm-1吸收带的影响.另外,800cm-1和1050cm-1这两个吸收峰的表观吸收系数αapp被发现和膜厚d成正比:αapp=k×d.利用αapp和d的正比关系,PECVD a-SiO2的膜厚可用非破坏性的FT-IR快速方便地测定.
关键词:
非晶SiO2薄膜
,
PECVD
,
红外光谱
,
Si-O-Si键
廖文波
,
瞿金清
,
李忠
,
陈焕钦
高分子材料科学与工程
制备了贮存稳定、高无机硅含量（≥21.0%）的聚（苯乙烯-丙烯酸酯）/SiO2杂化乳液（PSE/Si）,考察了甲基丙烯酸羟乙酯（HEMA）含量对杂化乳液微观形态的影响,探讨了成膜过程中Si-O-Si键的形成机理。结果发现,PSE/Si杂化乳液的粒径及其分布系数随着HEMA含量的增加而减小;透射电镜分析显示,m（HEMA）/m（单体）=3/100时,杂合乳液的分散稳定性良好;傅里叶红外光谱证实杂化乳液两相之间形成了分子间氢键,成膜过程中形成Si-O-Si交联网络;涂膜的综合性能在m（HEMA）/m（单体）=3/100时为最佳;原子力显微镜分析发现,HEMA促进了无机组分在涂膜表面的均匀分布;热失重结果显示,m（HEMA）/m（单体）=3/100时,PSE/Si杂化涂膜的热稳定性优于m（HEMA）/m（单体）=0/100和纯苯丙涂膜。
关键词:
杂化乳液
,
硅溶胶
,
甲基丙烯酸羟乙酯
,
氢键
,
Si-O-Si键
