姚琴
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王春芬
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刘付胜聪
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陈立东
稀有金属材料与工程
采用电化学沉积法,从非水溶液DMSO中制备了Sb2Te3热电薄膜.并采用循环伏安、SEM、XRD、EPMA等技术分别对电化学沉积过程和产物的形貌、结构、组成进行了研究.结果表明,在非水溶液二甲亚砜(DMSO)中,当电解液中Sb原子和Te原子的摩尔比为2:3,沉积电位为-2.2V时,在室温下即可得到单相的Sb2Te3热电薄膜,元素的组成接近化学计量比,组成薄膜的为大小均匀的球状颗粒,直径约为2～3 μm左右.沉积电位对薄膜的组成影响明显,通过改变沉积电位,可以分别得到Te微过量的薄膜和近化学计量比的薄膜.
关键词:
电化学沉积
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Sb2Te3
,
热电薄膜
,
非水溶液
