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朴相镐 , 王培超 , 褚金奎
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.015
开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题.该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值.
关键词: 同位素微电池 , SU8胶 , 剥离工艺 , 表面电极
