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GaN基热氧化物的XPS和椭偏光谱研究

杜江锋 , 赵金霞 , 于奇 , 杨谟华

材料导报

采用X射线光谱R(XPS)和椭偏测试仪(SE)对GaN材料干氧氧化所得氧化物薄膜的组分、厚度、光学常数等物理特性进行了研究.当氧化温度为900℃、氧化时间为15~240min时,XPS测试结果表明,所得氧化物类型为Ga_2O_3,且由于大量O空位的存在,其表面Ga/O比率约为1.2.SE测试结果表明,GaN线性氧化速率约为40nm/h,呈抛物线生长,最终平均氧化速率约为25nm/h.在300~800nm测试范围内,Ga_2O_3折射率为1.9~2.2,与文献测试结果相符.但在300~400nm测试范围内存在反常色散现象,这与GaN在此波段的强吸收有关.

关键词: GaN , 热氧化 , Ga_2O_3 , XPS , SE

NaCl溶液中LC4,LY12及纯铝腐蚀过程的电化学噪声特征

程英亮 , 曹发和 , 张昭 , 张鉴清 , 王建明 , 曹楚南

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2002.01.014

应用电化学噪声(electrochemical noise)技术对航空铝合金结构材料LC4,LY12及纯铝在质量分数为2.0%的NaCl溶液中的腐蚀过程进行了研究.发现不同材料在发生点蚀时其电化学噪声的时域谱波形特征各不相同,电化学噪声的频域谱SPD(spectra power density)曲线的三个特征参数:白噪声水平W,截止频率fc和高频线性部分的斜率K均随浸泡时间的延长而变化,在发生点蚀时三者均趋于极值,但三者都不能单独正确地表征点蚀的强度和趋势.实验结果同时表明:点蚀时,从不同材料的SPD曲线获得的点蚀参数SE和SG的数值具有一致性,且与未点蚀时的参数值存在着明显的区别.一般而言,点蚀发生时,SE>5且SG<1;非点蚀时,二者的取值正好相反.因此,二者可以很好地表征点蚀的发生.

关键词: 电化学噪声 , 铝合金 , 点蚀 , SE , SG

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