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铌酸锶钡薄膜制备及椭偏光谱研究

王正 , 张曰理 , 郭扬铭 , 莫党

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用溶胶-凝胶法成功地制备出了退火温度分别为500、600、700、800、900℃的铌酸锶钡(SBN)薄膜;对制备出SBN薄膜分别进行了椭偏光谱测量研究,得到了不同退火SBN薄膜椭偏光谱参数曲线;并对测得的椭偏光谱进行了数值反演计算,得到了不同退火温度的SBN薄膜的光学常数谱.结果发现SBN薄膜的折射率和消光系数都随着退火温度的增高而增大.

关键词: SBN薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 椭偏光谱

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