万维威
,
何翔
,
孙奉娄
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.01.013
应用射频磁控溅射技术在普通载玻片上镀制一层均匀的Ti-O薄膜,采用红外光谱仪对其进行红外吸收光谱分析,采用紫外光-可见光分光光度计测量其吸光度,得到了在不同O含量条件下制备的Ti-O薄膜对紫外光-可见光的吸收情况,并进行了比较.实验结果表明:随着O含量的逐渐减少,Ti-O薄膜的结构从TiO_2逐渐转变为多种Ti-O结构共存,并且其吸收峰出现红移现象.
关键词:
Ti-O薄膜
,
射频磁控溅射
,
禁带宽度
,
红移
