翟艳男
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杨坤
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张晖
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汤艳坤
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张丽丽
稀有金属材料与工程
在不同的衬底偏压下,用射频反应磁控溅射的方法在Si (100)衬底和Cu膜间制备了ZrN/Zr/ZrN堆栈结构的阻挡层.研究了Zr层的插入对ZrN扩散阻挡性能的影响,结果表明:随着衬底偏压的升高,阻挡层的电阻率降低,ZrN呈(111)择优取向;Zr层的插入使ZrN阻挡层的失效温度至少提高100℃,750℃仍能有效地阻止Cu的扩散,阻挡性能提高的主要原因可能是高温退火时形成的ZrO2阻塞了Cu快速扩散的通道.
关键词:
ZrN/Zr/ZrN膜
,
扩散阻挡层
,
Cu互连
,
射频反应磁控溅射
张营营
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李成明
,
陈良贤
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刘金龙
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黑立富
,
吕反修
材料热处理学报
采用射频磁控反应溅射法在金刚石自支撑膜衬底上沉积了AlN薄膜,XRD结果表明得到了（002）面择优取向的AlN薄膜;AFM的表面形貌结果显示薄膜表面平整,晶粒均匀,表面粗糙度为2.97 nm。XPS分析结果表明,离子剥蚀2.1 nm后Al/N原子百分比接近于1∶1;结合红外透过曲线和纳米力学探针测试,表明AlN薄膜在1500～800 cm-1波段对金刚石膜有约14%的增透作用,其平均硬度为21.5 GPa,平均弹性模量为233.3 GPa。
关键词:
射频磁控反应溅射
,
金刚石自支撑膜
,
AlN
,
增透性
翟瑞
,
邵红红
,
丁红燕
,
于春杭
功能材料
采用射频磁控溅射技术在表面纳米化316L不锈钢基体上制备掺钽TiO2薄膜,研究了不同掺钽量对表面纳米化316L不锈钢基TiO2薄膜形貌、结构、亲水性和生物活性的影响规律。结果表明掺杂适量的钽能够细化TiO2薄膜颗粒;掺钽能够改善TiO2薄膜的亲水性和生物活性;含钽36%的TiO2薄膜表面自由能比未掺杂时提高了30.1mN/m,在SBF溶液中能促进羟基磷灰石在其表面晶化。
关键词:
掺钽TiO2薄膜
,
纳米结构316L
,
生物活性
,
射频磁控溅射
许俊华鞠洪博喻利花
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2011.00751
采用射频磁控溅射制备不同Mo含量的TiMoN薄膜. 利用XRD, SEM, EDS, 纳米压痕仪和高温摩擦磨损实验对薄膜的相结构, 形貌, 成分, 力学性能和摩擦磨损性能进行分析. 结果表明, TiMoN薄膜为fcc结构; 当Mo占金属元素总量的比例X<68.37%(原子分数)时, 薄膜主要为Mo在TiN中的置换固溶体; 当X>68.37%时, 薄膜主要为Ti在Mo2N中的置换固溶体; 随Mo含量的增高, 择优取向发生改变, 晶粒尺寸逐渐减小, 薄膜的显微硬度显著升高, 最高达36.37 GPa, 摩擦系数逐渐降低, 并在X达到68.37%后稳定在0.4左右; 不同Mo含量的TiMoN薄膜的磨损率在10-8-10-6 mm2/N之间, 优于TiN薄膜. 基于晶体化学理论,对TiMoN薄膜低摩擦系数的原因进行了讨论.
关键词:
射频磁控溅射
,
TiMoN coatings
,
microstructure
,
friction and wear
