欢迎登录材料期刊网
刘爽 , 宁永功 , 陈艾 , 刘俊刚 , 杨家德 , 李昆
功能材料
用XRD、XPS、TEM分析手段研究了在P-Si(100)上溅射的Pt膜,经不同工艺形成PtSi薄膜的物相及连续性.通过分析硅衬底预处理以及退火条件、气氛等对成膜质量的影响,找到形成超薄PtSi膜的工艺方法,制备出4nm连续薄膜.
关键词: 红外探测器 , PtSi薄膜 , 纳米级 , 退火
