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玻璃基Pt/Pb(Zr _0.4 Ti _0.6 )O₃/ITO电容器的结构及物理性能研究

周阳 , 程春生 , 赵敬伟 , 郑红芳 , 赵庆勋 , 彭英才 , 刘保亭

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00242

采用溶胶凝胶方法在玻璃基ITO电极上制备了Pt/ Pb(Zr _0.4 Ti _0.6 )O₃(PZT)/ITO电容器.采用X射线衍射仪、铁电测试仪、分光光度计对其微观结构、电学性能及光学性能进行了测量.结果表明PZT薄膜结晶良好,具有（101）高度择优取向.铁电电容器具有良好的保持特性和抗疲劳特性,具有较大的剩余极化强度和电阻率,5V电压下的剩余极化强度和电阻率分别为41.7μC/cm²和2.5×10⁹Ω·cm;漏电流测量结果表明电压小于0.8V时为欧姆导电机制,当电压大于0.8V时,漏电流满足肖特基发射机制.光学透射谱结果表明在短波范围内,PZT表现出强吸收作用;在长波范围内,PZT表现为强透射,最大透射率达到95%.

关键词: Pt/PZT/ITO , sol-gel method , electric property

玻璃基Pt/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/ITO电容器的结构及物理性能研究

周阳 , 程春生 , 赵敬伟 , 郑红芳 , 赵庆勋 , 彭英才 , 刘保亭

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00242

采用溶胶-凝胶方法在玻璃基ITO电极上制备了Pt/Pb((Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3(PZT)/ITO电容器.采用X射线衍射仪、铁电测试仪、分光光度计对其微观结构、电学性能及光学性能进行了测量.结果表明PZT薄膜结晶良好,具有(101)高度择优取向.铁电电容器具有良好的保持特性和抗疲劳特性,具有较大的剩余极化强度和电阻率,5V电压下的剩余极化强度和电阻率分别为41.7μC/cm~2和2.5×10~9Ω·cm;漏电流测量结果表明电压小于0.8V时为欧姆导电机制,当电压大于0.8V时,漏电流满足肖特基发射机制.光学透射谱结果表明在短波范围内,PZT表现出强吸收作用;在长波范围内,PZT表现为强透射,最大透射率达到95%.

关键词: Pt/PZT/ITO , 溶胶-凝胶法 , 电学性能

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