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MOCVD制备的Pt/C薄膜的结构与性能研究

胡昌义 , 戴姣燕 , 方颖 , 欧阳远良 , 闫革新 , 刘伟平 , 程勇

稀有金属材料与工程

以乙酰丙酮铂为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)法在石英及YSZ基体上制备Pt/C薄膜,研究了Pt/C薄膜的结构和电化学性能.沉积过程中通入一定量的氧气可以大幅降低Pt/C薄膜中的含C量,含C较高的Pt/C薄膜的XRD谱线低而宽,具有非晶态衍射特征.在500℃测量温度下,以Pt/C薄膜为电极的YSZ氧气浓差电池的电动势及电流输出高于传统的Pt电极.

关键词: MOCVD , Pt/C薄膜 , 成分 , 结构 , 性能

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