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PVDF压电薄膜传感器的研制

赵东升

物理测试

传感器采用的28 μm厚的4层结构PVDF压电薄膜制成，传感器表面电极形状的制作采用剪切加丙酮腐蚀的方法，保证了传感器有一定的非金属化的边缘。对于电极的引出是将传感器上、下电极面引脚错开，引出电极比较容易做到穿透式，采用压接端子压接和空心小铆钉铆接两种方法。

关键词: PVDF压电薄膜 , sensor , manufacture