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图案化二维有序大孔SiC制备

宋彩玲 , 肖作毅 , 翟尚儒 , 安庆大

硅酸盐通报

以苯乙烯为单体,采用分散聚合法合成粒径不同且单分散性良好的聚苯乙烯微球.将1.5 μm聚苯乙烯微球排列在图案化聚二甲基硅氧烷模具(PDMS mold)中,以此为模板,经过浸渍SiC陶瓷前驱体(聚碳硅烷)、紫外固化和高温焙烧过程,成功制备了二维有序大孔SiC陶瓷阵列.扫描电镜(SEM)照片表明二维有序大孔SiC形貌受聚苯乙烯微球模板调控.通过改变聚碳硅烷涂层的厚度,能够进一步调控二维有序大孔SiC的孔径.

关键词: 分散聚合 , 聚苯乙烯微球 , 图案化聚二甲基硅氧烷模具 , 二维有序大孔SiC

反应离子刻蚀制备石墨烯纳米盘阵列

李浩 , 付志兵 , 王红斌 , 易勇 , 黄维 , 张继成

人工晶体学报

采用化学气相沉积法以乙醇为碳源在铜箔生长的单层高质量的石墨烯并将其转移到SiO2/Si基底上。然后在通过自组装的方法在石墨烯表面覆盖一层单层的PS微球阵列。采用反应离子刻蚀的方法在一定的刻蚀条件下对其进行刻蚀,随着刻蚀的时间增加,PS微球的会被逐渐刻蚀掉,石墨烯也会在这个过程中随着被刻蚀。将残留的PS微球杂质去掉后,会在 SiO2/Si基底上呈现出排列规整的石墨烯纳米盘阵列。通过场发射扫描电子显微镜( SEM)、拉曼光谱对石墨烯纳米盘及其形成过程进行表征和分析,为后续制备高质量石墨烯纳米带、石墨烯纳米点、石墨烯纳米盘提供参考。

关键词: 石墨烯 , 化学气相沉积 , PS微球 , 反应离子刻蚀 , 石墨烯纳米盘阵列

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