于伟东
,
王曦
,
陈静
,
张苗
功能材料
注氧隔离法(SIMOX)和体硅智能剥离法(smart-cut)是目前制备绝缘体上的硅(SOI)材料的最重要的两种方法.而离子注入是其中最主要工艺过程.本文简述了等离子体基离子注入(PBII)在制备SOI的两种方法中应用的国内外研究现状.讨论了两种方法中需要考虑的共性问题,包括注入剂量的均匀性、等离子...
关键词:
SOI材料
,
PBII
,
SIMOX
,
Smart-Cut
G.Li
,
L.F.Xia
,
X.X.Ma
,
Y.Sun and Z.J.Zhan Schoolof Materials Science and Engineering
,
Harbin Institute of Technology
,
Harbin 150001
,
China
金属学报(英文版)
The bondstructureofhydrogenated diamond likecarbon( DLC) filmsdeposited with plasmabased ionimplantation ( PBII) wascharacterized by Raman spectroscopy andcore level band and valenceband spectrum of XPS. Theresultsshow thatthe hydrogenated carbon filmspre pared with lower pulse bias, especiall...
关键词:
hydrogenated DLCfilms
,
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