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Ba0.6 Sr0.4 TiO3溅射靶材的烧制和性能分析

张龙 , 朱健 , 卓敏

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.017

介绍了BST压电陶瓷靶的烧制方法,使用添加剂改善了Ba0.6 Sr0.4 TiO3 靶材的结构和性能,解决了BST靶材热稳定性差的问题,同时优化了BST靶材的晶化效果,提高介电性能.实验通过XRD衍射和P-E试验分析了所制BST溅射靶的微结构和铁电特性.

关键词: BST , 压电陶瓷 , 热稳定性 , XRD衍射 , P-E试验分析