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双层复合栅介质膜的制备及电学性能研究

王乐 , 张亚军 , 祖帅 , 钟传杰

功能材料

介电常数分别为2.6的聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）及介电常数为16的偏氟乙烯-三氟乙烯共聚物（P（VDF-TrFE））两种不同的有机绝缘材料,通过溶液旋涂的方法在P型硅衬底上制备了不同结构的复合栅介质膜并测试了它们的高频C-V特性及漏电特性。实验结果表明Si-PMMA-P（VDF-TrFE）-Ag结...

关键词: OTFT , 复合绝缘膜 , 电子陷阱 , 漏电机理

双层复合有机栅绝缘膜漏电机理的研究

景亚霓 , 王乐

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20142905.0681

本文研究了利用旋涂法在硅衬底上制备的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和三氟乙烯-偏氟乙烯的共聚物(P(VDF-TrFE))双层复合绝缘膜的漏电机理,采用这种膜的MIS器件的单位面积电容为32 nF/cm2.电流-电压测试结果显示在不同的电压范围内其漏电曲线出现转折点,反映了这种膜在不同的电场下有不同的漏...

关键词: OTFT , 双层栅绝缘膜 , 漏电机制

半导体学报（英文版） doi:10.1088/1674-4926/33/12/124005

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