徐锋
,
左敦稳
,
卢文壮
,
王珉
金属学报
采用双偏压热丝化学气相沉积法
在不同栅极和衬底
偏流下制备出纳米金刚石薄膜. 采用Raman谱、SEM、AFM、纳米压
痕法和XRD分析纳米金刚石膜的微结构、弹性模量和
残余应力. 分析结果表明，金刚石晶粒尺寸随着栅极和
衬底偏流的增加而减小，而衬底偏流的加入会引起非金刚石成分的显著
增加. 金刚石晶界的畸变使得弹性模量随着栅极和衬底偏流的增加而
减小，薄膜热应力也随之减小. 晶界非金刚石成分引
起金刚石本征应力呈压应力性质，晶界密度的增加使得
本征应力随着栅极偏流的增加而增加，但衬底偏流引起薄膜抵抗变形
能力剧烈下降，导致金刚石本征压应力的减小.
关键词:
纳米金刚石膜
,
Nanocrystalline diamond film
,
Elastic modulus
