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(Ti,Al)N涂层应力沿层深分布的调整及大厚度涂层的制备

赵升升 , 程毓 , 常正凯 , 王铁钢 , 孙超

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2011.00504

利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上制备了(Ti,Al)N涂层,研究了N2分压改变对涂层残余应力沿层深分布及相关力学性能的影响.结果表明,低N2分压下,(Ti,Al)N涂层残余应力沿层深分布较均匀,随N2分压的增加,涂层应力沿层深呈“钟罩型”分布,且全膜厚的应力值也明显增大;通过对涂层生长结构及微观成分...

关键词: (Ti,Al)N , 硬质涂层 , 应力分布 , 调整应力 , N2分压

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