臧航
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王志光
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魏孔芳
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孙建荣
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姚存峰
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申铁龙
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马艺准
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杨成绍
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庞立龙
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朱亚斌
原子核物理评论
室温下用80 keV N离子注入ZnO薄膜样品,注量分别为5.0×10~(14),5.0×10~(15)和5.0×10~(16) ions/cm~2,然后用X射线衍射和透射电镜技术对样品的结构特性进行了表征.实验结果表明,由高度(002)择优取向的致密柱状晶构成的薄膜中,注入5.0×10~(15) ions/cm~2时,观测到缺陷生成和局域无序化现象,但薄膜总体结构仍保持柱状晶和(002)择优取向;随着注量的增大,晶格常数c和压应力呈增大趋势.对注入N离子对ZnO薄膜结构特性的影响机理进行了简单的讨论.
关键词:
ZnO薄膜
,
N离子注入
,
X射线衍射
,
透射电镜
