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TiO2－xNx薄膜托槽的摩擦性能研究?

岳子琪 , 王宇 , 王晔 , 肖文君 , 李淼 , 曹宝成

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.14.009

通过射频磁控溅射法，在不锈钢金属托槽表面制备了不同厚度的TiO2－x Nx 薄膜。薄膜的晶体结构，表面形貌和表面粗糙度分别通过 X 射线衍射、扫描电子显微镜和2206型表面粗糙度测量仪分析。通过14FW往复摩擦磨损测试仪考察薄膜托槽体外摩擦性能。结果显示，所制备的纳米 TiO2－x Nx 薄膜为锐钛矿型，结构均匀致密。不同厚度的 TiO2－x Nx 薄膜托槽的动、静摩擦系数不论干燥或湿润条件下均小于对照组。在同一湿性环境下，随薄膜厚度增加 TiO2－x Nx 薄膜托槽摩擦系数呈递减趋势。TiO2－x Nx 薄膜托槽表现出了良好的低摩擦性能。

关键词: 射频磁控溅射法 , TiO2-x Nx 薄膜 , 不锈钢托槽 , 摩擦系数 , 不同介质