刘贵昂
,
谢二庆
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王天民
原子核物理评论
doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2001.02.011
对类金刚石（以下简称DLC）薄膜受γ射线与N离子辐照的结果进行了比较. 通过Raman光谱分析得出：γ射线辐照造成薄膜中SP3C—H和SP2C—H键的减少及SP3C—C键的增加, 与此同时氢原子结合成氢分子，并从膜中释出，薄膜的类金刚石特征更加明显. 当辐照剂量达10×104 Gy时， SP3C—H键减少了约50%. N离子辐照使DLC薄膜中SP3C—C键、 SP2C—H键及SP3C—H键的含量均变少，并伴随着氢分子的释出，直接导致DLC薄膜的进一步石墨化，其对SP3C—H及SP2C—H键的破坏程度远大于γ射线. 两者在辐照机理上截然不同.
关键词:
类金刚石薄膜
,
γ射线辐照
,
N离子辐照
,
机理
