刘彦章
,
邱绍宇
,
祖小涛
,
王理
,
黄新泉
原子核物理评论
doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2006.02.027
经完全退火处理的Ti-Al-Zr合金表面注入不同剂量的N离子, 并在pH值为10的溶液中进行电化学腐蚀试验.结果表明, N离子注入后, 试样表面首先形成具有四方结构的ε-Ti2N, 随着离子注入剂量的增加, 四方结构的ε-Ti2N逐渐向立方结构的σ-TiN转变, X射线光电子能谱的分析结果也证实了这一变化过程;N离子的注入能明显改善Ti-Al-Zr合金表面的耐腐蚀性能, 且在注入8 ×1016 ion/cm2时得到最佳的耐腐蚀性.根据原子碰撞理论对电化学腐蚀实验结果进行了理论分析.
关键词:
Ti-Al-Zr合金
,
N离子注入
,
相结构
,
耐蚀性
臧航
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王志光
,
魏孔芳
,
孙建荣
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姚存峰
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申铁龙
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马艺准
,
杨成绍
,
庞立龙
,
朱亚斌
原子核物理评论
室温下用80 keV N离子注入ZnO薄膜样品,注量分别为5.0×10~(14),5.0×10~(15)和5.0×10~(16) ions/cm~2,然后用X射线衍射和透射电镜技术对样品的结构特性进行了表征.实验结果表明,由高度(002)择优取向的致密柱状晶构成的薄膜中,注入5.0×10~(15) ions/cm~2时,观测到缺陷生成和局域无序化现象,但薄膜总体结构仍保持柱状晶和(002)择优取向;随着注量的增大,晶格常数c和压应力呈增大趋势.对注入N离子对ZnO薄膜结构特性的影响机理进行了简单的讨论.
关键词:
ZnO薄膜
,
N离子注入
,
X射线衍射
,
透射电镜
