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关于TFT-LCD中一种偏光片相关不良的研究

刘杰 , 李东熙 , 金炯旲 , 王章涛 , 邵喜斌

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132806.0872

偏光片作为液晶显示器的重要组成部分之一,其特性会直接影响到显示器的画面显示效果.文章首先对偏光片的基本组成进行了介绍,依据水分与偏光片透过率的关系.对偏光片相关的一种不良形成机理进行了分析,表明该不良的形成与湿度及偏光片的材质存在较大的相关性,通过使用不同材质偏光片的模组进行温湿度变化实验,验证了该不良的发生机理,同时针对该不良提出了改善方法,即在液晶显示器显示区域内避免偏光片局部与其他部品发生接触,或者在偏光片选取方面需选用位相差变化小的产品.

关键词: 液晶显示器 , 偏光片 , 湿度 , Mura

一种TFT-LCD Vertical Block Mura的研究与改善

吴洪江 , 王威 , 龙春平

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2007.04.015

在TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)以及其他显示器件产品中,Mura是一种比较常见的不良现象,它可以直接影响到产品的画面品质.文章结合生产工艺的实际情况,采用MM,CD,EPM,SEM,FIB等检测设备,对一种Vertical Block Mura进行了大量的实验测试、数据分析和理论研究工作,特别是对其产生的原因创新性地提出了两种方向上的理论观点.通过加强设备科学管理监控,减小耦合电容效应等一系列改善措施,产品质量得到了很大程度的提升,Vertical Block Mura从改善前的26.1%降到了1.3%,从而使Vertical Block Mura得以改善,很大程度地提高了产品的品质,并为今后相关问题的进一步研究和解决奠定了一定的理论基础.

关键词: TFT-LCD , Mura , 抖动 , 耦合电容 , 画面品质

TFT-LCD网点Mura的研究和改善

张定涛 , 李文彬 , 姚立红 , 郑云友 , 李伟 , 宋泳珍 , 袁明 , 张光明

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132806.0860

为解决116.8 cm(46 in)广视角边缘场切换技术4mask面板生产中的阵列工艺中,发生的一种网点色斑缺陷,应用扫描电子显微镜、聚焦离子束、能谱仪、宏观微观观测仪和线宽测量仪等检测设备进行Mura及其结晶物成份分析,比较了TFT膜厚;进行了GI和PVX膜玻璃正反面1%HF酸腐蚀试验、下部电极温度升高10℃试验、工艺ash、n+刻蚀的后处理步骤和有源层BT试验.研究了沟道n+掺杂a-Si层的厚度对于Mura的影响.确定了Mura的发生源和影响因素,结果发现Mura形成机理,一为基板背部划伤,二为接触和不接触电极区域的温差异,三是刻蚀反应的生成物在有源层工艺黏附在基板背部,之后经过多层膜沉积、湿刻和干刻、剥离工艺后促使缺陷进一步放大.最后采用平板粗糙面下部电极、控制剩余a-Si厚度和升高温度的方法,消除了网点Mura,并使得整体Mura发生率降为0.08%.

关键词: 色斑 , 薄膜晶体管 , 非晶硅 , 缺陷分析

印刷型设备产生配向膜 Mura 研究

王丹 , 马国靖 , 宋勇志 , 袁剑峰 , 邵喜斌

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20142906.0881

薄膜晶体管行液晶显示(TFT-LCD)面板制造行业中,取向膜涂布方式主要有2种:一种为传统印刷方式辊式涂布法,另一种为新型印刷方式喷墨印刷法。本文通过对这2种印刷方式的比较,着重介绍了新型喷墨印刷法容易产生的三大主要不良(直线形不良、印刷头宽线形不良以及云状灰度不良)及产生原因。在对三大不良产生的原因进行详细的实验测试、数据分析和理论研究工作下,通过工艺调整并结合设备科学管控,最终使不良发生率大幅下降,极大地提高了产品的品质,并为今后新产品的开发及相关理论的研究提供了很好的基础。

关键词: 聚酰亚胺 , 取向膜 , 喷墨打印 , Mura 缺陷

大尺寸薄膜晶体管液晶显示器的一种条状显示不均的分析和改善研究

刘晓伟 , 田明 , 李梁梁 , 付艳强 , 郭会斌 , 刘耀 , 袁剑峰

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163111.1033

研究了大尺寸薄膜晶体管液晶显示器产品开发中遇到的一种新的条状显示不均。通过扫描电子显微镜、四探针测试仪和分光光度计设备对这种显示不均进行了分析,这种显示不均与薄膜晶体管阵列基板上的金属配线的膜厚周期性波动有关,金属膜厚的周期性波动导致了液晶显示器的液晶盒盒厚的不均匀,从而造成显示不均。这种膜厚的周期性波动与液晶高世代线广泛采用的平面靶材溅射设备构造有关。通过对设备结构的改造,提高了基板面内的金属膜厚的均一性,改善了此不良。

关键词: 大尺寸薄膜晶体管液晶显示器 , 磁控溅射 , 平面靶材 , 显示不均

TFT-LCD Stage Mura的研究与改善

肖洋 , 周鹏 , 闫润宝 , 郑云友 , 齐勤瑞 , 魏崇喜 , 章旭 , 张然

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173204.0269

TFT-LCD面板在屏幕上有斑点或波浪状Mura,影响液晶显示器的品质,经过图形匹配,缺陷与曝光机机台形貌匹配.通过对异常区域特性分析,发现异常区域的BM CD、BM 像素间距存在异常.对原因进行模型分析:玻璃在曝光机基台上局部区域发生弯曲,曝光距离变短,致使BM PR受光区域变小,BM CD会偏小,进而导致区域性透过光不均一产生Mura;玻璃弯曲后BM 像素间距相对于设计位置也会发生变化,从而导致漏光产生Mura.经过实验验证,BM CD和像素间距的偏差主要由机台凸起导致glass弯曲引起,可以通过降低吸附压力和研磨机台,来改善CD差异和像素间距偏移,同时像素间距偏移漏光,也可以通过增加CD来改善.最终通过BM CD增加、研磨机台和降低吸附压力措施,Stage Mura不良率由10.05%下降至0.11%.

关键词: 薄膜晶体管液晶显示器 , 色斑 , 线宽 , 像素间距

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