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磁控反应溅射MoS2/Ti/C复合薄膜的组织结构及摩擦磨损性能

李倩倩 , 尹桂林 , 郑慈航 , 余震 , 何丹农

材料保护

为了提高MoS2薄膜在室温潮湿大气条件下的摩擦磨损性能,通过磁控反应溅射制备了MoS2/Ti/C复合薄膜.采用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)对薄膜的成分、相组成和形貌进行表征,采用纳米压痕仪测试薄膜的结合力、纳米压痕硬度,采用多功能微摩擦磨损试验机测试薄...

关键词: 磁控反应溅射 , MoS2/Ti/C薄膜 , MoS2薄膜 , 组织结构 , 摩擦磨损性能