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溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体

万军 , 马志斌 , 曹宏 , 吴振辉 , 汪建华

新型炭材料

在微波等离子体化学气相沉积系统中,利用脉冲氮离子束溅射二氰二氨靶产生的碳氮粒子作为合成前驱物,在石英玻璃基片上研究了SiCN晶体的合成.用扫描电子显微镜(SEM)、X射线能谱(EDX)、X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)研究了基片温度对薄膜的形貌、成分和结构的影响.结果表明:随着基片温...

关键词: SiCN晶体 , 微波等离子体 , 溅射 , 二氰二氨