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模具钢微细蚀刻的侧蚀研究及其工艺优化

黄红光 , 郭钟宁 , 王冠

表面技术

目的 研究HNO3浓度、喷淋压力、掩膜间隙、加工时间对侧蚀量的影响规律.方法 设计正交实验,测定蚀刻后的侧蚀量,采用极差分析、方差分析法对侧蚀量进行分析,通过验证性实验进行验证.结果 侧蚀量随加工时间的延长以及喷淋压力、加工时间的增大而增大,随HNO3浓度的增大而减小.侧蚀量最小的工艺是:HNO3浓...

关键词: 模具钢 , 微细蚀刻 , 侧蚀量 , 正交实验