邵玉坤
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韩舜
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吕有明
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曹培江
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柳文军
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曾玉祥
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贾芳
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朱德亮
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马晓翠
人工晶体学报
利用脉冲激光沉积技术,选用靶材为Mg0.5Zn0.5O陶瓷靶材,在非晶石英衬底上研究氧气流量对MgxZn1-xO合金薄膜生长取向的影响.结果表明:在低压、低氧气流量条件下薄膜的成核生长主要受控于晶面的表面能,薄膜为(200)晶向；在沉积压强8.0Pa时,随着氧气流量的增加,反应粒子的能量降低,不同取向晶粒的生长速率发生变化,导致MgZnO薄膜的生长取向由(200)择优取向转变为(111)择优取向.当氧气流量过大(70 sccm)时,由于氧气分子迁移能的提高,MgZnO薄膜呈现多个不同生长取向.
关键词:
ZnO
,
MgZnO
,
脉冲激光沉积
,
氧气流量
胡海华
,
王家玮
材料导报
ZnO由于具有3.4eV的宽直接禁带和60meV的高激子束缚能,近年来引起了研究者的广泛兴趣,被认为是制备室温或高温蓝光或紫外光发光二极管以及激光二极管的理想材料.ZnO的能带工程是发展高效率的ZnO发光器件的关键,这已经成为ZnO领域的研究热点.近年来,大量的研究表明,可以通过ZnO与Mgo或BeO形成MgZnO或BeZnO合金来增大ZnO的禁带宽度,通过ZnO与CdO形成CdZnO合金来减小ZnO的禁带宽度,从而在保持单一六方结构的情况下实现了室温禁带宽度在1.8～10.6eV范围内的可调节.总结了ZnO能带工程的国内外研究进展,系统地介绍了MgZnO、BeZnO和CdZnO合金、ZnO基量子阱和超晶格的制备方法、晶体结构、光学性能等.
关键词:
氧化锌
,
能带工程
,
禁带宽度
,
MgZnO
,
BeZnO
,
CdZnO
