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溶胶-凝胶法制备Mg掺杂ZnO薄膜的微结构与光学性质

黄凯 , 吕建国 , 刘先松 , 唐震

人工晶体学报

采用溶胶-凝胶技术在Si(111)和石英玻璃衬底上制备了Mg掺杂ZnO薄膜.用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电镜(SEM)和紫外-可见(UV-Vis)分光光度计测试薄膜的微结构、表面形貌和光学性质.结果表明:所得Mg掺杂ZnO薄膜仍为六角纤锌矿型结构,呈c轴方向择优生长,随着退火温度升高,薄膜的晶格常数c由0.5288 nm减小到0.5278 nm,粗糙度从3.8 nm增大到6.5 nm,光学带隙由3.26 eV增大到3.31 eV.

关键词: Mg掺杂ZnO薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 微结构 , 光学性质

Mg掺杂对ZnO薄膜结构与磁性的影响

黄文娟 , 方庆清 , 王伟娜 , 吴克跃 , 张瀚铭 , 张启平

人工晶体学报

采用脉冲激光沉积(PLD)方法在单晶Si(100)衬底上制备Zn1-xMgxO薄膜,研究了退火温度和氧压对Zn1-xMgxO薄膜的结构和磁性的影响.结果表明,Mg掺入量影响ZnO结构相变,当x≥0.25时,Zn1-xMgxO薄膜由六角纤锌矿结构变为立方结构,同时磁性增强.随着氧压的增大和后续退火温度的升高,都会使饱和磁化强度(Ms)呈先增大后减小的趋势.分析表明磁性的变化都与样品中的表面缺陷浓度有关.

关键词: Mg掺杂ZnO薄膜 , 室温铁磁性 , 表面缺陷

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