刘云燕
,
袁玉珍
,
李洁
,
高绪团
材料导报
ZnO基紫外光探测器被认为是目前研究紫外探测器的重点之一.简要介绍了ZnO基紫外光探测器采用的基本结构:包括光电导型、肖特基势垒型以及p-n结型;比较了不同结构的ZnO紫外光探测器所具有的优缺点,对光电导型、肖特基势垒型以及p-n结型紫外光探测器近几年的发展分别进行了详细评述.
关键词:
ZnO基
,
紫外光探测器
,
MSM
,
光电导
,
肖特基势垒
,
p-n结
韦敏
,
邓宏
,
王培利
,
李阳
材料导报
近年来,ZnO基紫外探测器由于其优异的光电特性,已成为紫外探测领域研究中的新热点之一.介绍了近年来国内外不同结构类型的ZnO基紫外探测器的研究状况,并对影响探测器性能的ZnO的光电导特性、薄膜微结构、掺杂、金半接触等关键技术进行了探讨,指出推动ZnO紫外探测器实用化进程的关键在于制备高质量的掺杂薄膜以及进一步提高器件的量子效率.
关键词:
ZnO
,
紫外探测器
,
MSM
,
光响应度
,
量子效率
