杨绍利
,
徐楚韶
,
陈厚生
,
胡再勇
钢铁钒钛
doi:10.3969/j.issn.1004-7638.2002.02.002
以工业V2O5为原料,采用N2热分解法在普通玻璃和石英玻璃衬底上制备VO2薄膜,在自制的电阻-温度测量装置上测量VO2薄膜的电阻随温度的变化.结果表明:VO2薄膜具有明显电阻突变特性,其相变达到了1.5～2.0个数量级,相变温度约为35 ℃;VO2薄膜的主要成分是二氧化钒,同时含有少量其它的钒化合物.
关键词:
V2O5
,
VO2
,
薄膜
,
热分解
,
M-S相变
杨绍利
,
徐楚韶
,
陈厚生
,
胡再勇
中国有色金属学报
以工业V2O5为原料,采用热分解法和还原法制备工业VO2薄膜.研究了制备工艺参数对电阻突变的影响及其在自然放置条件下的稳定性.结果表明:1)VO2薄膜的电阻突变达到了2.0～3.4个数量级,突变温度约为35℃,比纯VO2薄膜突变温度约低33℃;2)石英玻璃上的VO2薄膜的电阻突变数量级比普通玻璃上的大;3)H2还原法制备的VO2薄膜电阻突变数量级比N2热分解法制备的大;4)在自然放置条件下短时间内VO2薄膜可承受连续、反复多次的电阻突变,其突变数量级降低不多,突变温度滞后几乎没有变化;5)同等条件下石英玻璃上的VO2薄膜的电阻突变数量级降低较小、稳定性较好.
关键词:
V2O5
,
VO2
,
薄膜
,
电阻
,
M-S相变
