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XPS数据处理中的峰形和背景扣除

张滨 孙玉珍 王文皓

物理测试

详细介绍了XPS数据处理中用到的峰形曲线和它们的组合峰形，讨论了背景扣除方法及对分析结果的影响。

关键词: XPS , Line shape , background subtraction