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沉积温度对磁控溅射法制备La0.5 Sr0.5 CoO3薄膜微结构和导电性能的影响

付跃举 , 刘保亭 , 郭颖楠 , 傅广生

机械工程材料

采用射频磁控溅射法在(001)SrTiO3基片上制备了La0.5 Sr0.5 CoO3薄膜,研究了沉积温度对La0.5Sr0.5CoO3薄膜微结构和导电性能的影响.结果表明:沉积温度低于400℃时,薄膜以非晶状态存在,未发生外延生长,沉积温度为550℃和650℃时,薄膜在基片上实现了外延生长;随着沉积温度的升高薄膜表面粗糙度呈现规律性的变化;薄膜的电阻率随沉积温度的升高单调下降,650℃沉积薄膜的电阻率最小为1.63μQΩ·cm.

关键词: La0.5Sr0.5CoO3薄膜 , 射频磁控溅射 , 外延生长

La0.5Sr0.5CoO3晶体微结构振动形态的模拟计算

王强 , 丁铁柱 , 王小晶 , 张利文 , 姜涛 , 张瑞芳

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2009.05.003

采用离子束溅射法制备了钙钛矿型复合氧化物La0.5Sr0.5CoO3(LSCO) 薄膜,测试了La0.5Sr0.5CoO3(LSCO) 薄膜的拉曼光谱,采用Gaussian 03W量子化学软件从头计算了这种晶体的拉曼光谱.实验和计算均表明,钙钛矿晶体LSCO的基本结构单元为钴氧八面体,钴氧八面体的振动频率与其振动模式密切相关;并给出了拉曼谱峰的振动频率与振动方式之间的对应关系;通过改变Co-O键长值,对CoO6八面体振动方式和频率进行计算拟合,研究了热处理温度和衬底对晶胞化学键长度变化的影响.

关键词: La0.5Sr0.5CoO3薄膜 , Raman谱 , Co-O键长

离子束溅射法制备La0.5Sr0.5CoO3薄膜的拉曼光谱分析

王强 , 丁铁柱 , 张利文 , 姜涛

稀土 doi:10.3969/j.issn.1004-0277.2008.03.023

采用离子束溅射在氧化钇稳定的氧化锆(YSZ)和铝酸镧(LaAlO3)上制备了La0.5Sr0.5CoO3的钙钛矿薄膜.利用拉曼光谱,研究了不同热处理温度和不同衬底对LSCO薄膜材料的晶体结构、分子振动模式和化学键的影响.研究发现La0.5Sr0.5CoO3钙钛矿薄膜的晶体结构随着热处理温度的升高发生明显的相变,由排列无规则态朝着正交晶系结构转变,Co-O键构成的八面体间的相对运动强度逐渐减弱.另外,还发现La0.5Sr0.5CoO3钙钛矿薄膜在衬底氧化锫(YSZ)上的Co-O键振动频率要小于在衬底铝酸镧(LaAlO3)上的振动频率,这与两者的品格失配程度有关.

关键词: 离子束溅射 , La0.5Sr0.5CoO3薄膜 , 拉曼光谱

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