郑利兵
,
石庚辰
,
韩立
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.03.005
LIGA电铸镍的材料特性与其电铸时的工艺参数有着直接的关系.利用MEMS材料拉伸机对LIGA电铸镍进行拉伸实验,获得了其应力一应变曲线,通过数据处理和分析,获得了LIGA电铸镍的弹性模量、屈服极限以及断裂极限,并和纳米压痕仪测得的数据进行了对比,两者有较好的一致性.
关键词:
LIGA
,
电铸镍
,
材料特性
,
拉伸
,
弹性模量
石庚辰
,
李华
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.022
复杂微机械系统由多个微机械零件装配而成,与传统金属切削加工技术相同,微机械加工也存在公差,特别是在微机械零件之间存在装配关系时,合理给出零件之间的公差尤其重要.由于微机械加工技术不同于传统金属切削加工技术,其加工公差的确定与标注也不同于传统工艺.本文对基于LIGA(准LIGA)工艺的微机械零件公差问题进行研究.文中分析了采用LIGA(准LIGA)工艺进行加工的过程中,零件存在加工误差的环节和原因、加工误差产生的规律,以及在特定加工条件下的误差范围,在此基础上,给出了微机械零件尺寸的确定方法.
关键词:
LIGA
,
微机械零件
,
公差
