邱红松
,
游利兵
,
王庆胜
,
尹广玥
,
方晓东
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2016.03.006
分别研究了Ne、F2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F2分压对脉冲能量输出的影响非常明显.工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系.当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压(F2∶He∶Kr∶Ne=0.315∶5.985∶19.5∶305 kpa)下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64％.
关键词:
激光技术
,
KrF准分子激光器
,
气体分压优化
,
气体混合物
,
缓冲气体
刘仁臣
,
吴永刚
,
夏子奂
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2013.13088
探讨小于1 μm自支撑聚酰亚胺薄膜的制备及其性能.以稀盐酸为腐蚀剂,对涂于氧化锌衬底上的聚酰胺酸薄膜进行剥离,经热亚胺转化为聚酰亚胺薄膜,再用准分子激光对其刻蚀减薄.采用原子力显微镜、傅里叶变换红外光谱仪和分光光度计对薄膜的微观结构和光谱性能进行了表征.结果表明,以室温下溅射的氧化锌薄膜为脱膜剂,制备了厚度约950 nm的自支撑薄膜,而激光刻蚀使聚酰亚胺薄膜厚度减薄至150 nm.厚度分别为950和150 nm薄膜的红外谱中均出现了聚酰亚胺特征吸收峰(1775、1720、1380和725 cm-1),且两者在400～2500 nm范围的平均透过率分别为80.3％和83.5％.
关键词:
聚酰亚胺
,
KrF准分子激光
,
热亚胺化
,
氧化锌
,
薄膜
