汪欣
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严鹏
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杜继红
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李争显
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唐勇
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杨涛
稀有金属材料与工程
为改善溅射依涂层与钼基体之间的结合力,在钼基体与依涂层之间制备了钨粘结层,并成功在钼丝网上制备了双层的铱/钨涂层.研究表明,钨粘结层的制备能有效改善铱涂层与铝基体之间的结合力,从而有效抑制铱涂层的剥落.对于制备态的样品,W粘结层与铱涂层以及钼基体之间未出现明显的互扩散.X射线衍射结果表明,溅射铱涂层为多晶结构且呈(111)择优取向生长.根据Movchan-Demchishin模型,所制备的双层铱/钨涂层的显微结构与“1区”结构类似,该结构表明所制备的涂层横向结合力弱,在拉应力状态下易发生开裂.
关键词:
磁控溅射
,
依涂层
,
钨粘结层
,
择优生长
,
显微结构
