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ITO电极的湿膜光刻与干膜光刻制备研究

严慧敏 , 郭颖 , 朱华新 , 刘桂林 , 朱冰洁 , 李帅 , 李果华

人工晶体学报

聚合物太阳电池的制备中,阳极ITO的制备是决定器件效率的重要工艺之一.本文主要对ITO电极的湿膜光刻和干膜光刻制备方法进行了比较,并用光学相干断层扫描(OCT)技术等方法对制备的电极进行了检测,结果表明湿膜光刻可以获得较为精细的电极结构.

关键词: 湿膜光刻 , 干膜光刻 , OCT , ITO电极

阳极光电性能对聚合物太阳电池性能的影响

郭颖 , 刘桂林 , 朱华新 , 严慧敏 , 朱冰洁 , 李帅 , 于海民 , 李果华

人工晶体学报

为验证ITO的光电性能,以不同类型ITO作为光电阳极,采用旋涂与真空蒸镀的方法制备本体异质结聚合物太阳电池ITO/PEDOT∶ PSS/P3HT∶ PCBM/Al,研究了ITO表面形貌及光场分布对太阳电池光电性能的影响.结果表明,合适的ITO厚度及表面形貌能够在有效收集空穴的同时,提高光子透过率,保证有源层对光子的吸收.合适的ITO阳极厚度及表面形貌能够有效提高聚合物太阳电池的光伏性能,使得聚合物电池的效率从0.07%提升至1.30%.

关键词: 聚合物太阳电池 , ITO电极 , 透过率 , 光伏特性 , 表面形貌

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