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柔性衬底ITO透明导电薄膜的光电性能研究

孙裔 , 刁训刚 , 杨盟 , 武哲 , 舒远杰

稀有金属材料与工程

利用直流磁控溅射方法在柔性聚酯薄膜衬底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,采用X射线衍射、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了氧含量、薄膜厚度、衬底负偏压对ITO薄膜的晶体结构和光电性能的影响,优化了柔性衬底ITO薄膜的制备工艺条件.制得样品的最佳可见光平均透过率为85.6%,方块电阻为6Ω/□.

关键词: 直流磁控溅射 , 柔性衬底 , ITO透明导电薄膜