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溅射纳米晶IN738合金的恒温氧化行为

耿树江 , 王福会 , 朱圣龙

中国腐蚀与防护学报

利用磁控溅射方法在IN738合金上制备了同成分的纳米晶涂 层，研究了该合金与纳米晶涂层在800℃、900℃和1000℃的恒温氧化行为.结果表明：纳米 晶涂层在900℃和1000℃氧化时能形成双层的外氧化膜，表层为TiO2和Cr2O3为主的混 合氧化物层，内层为连续的Al2O3层，没有内氧化及氮化，但在800℃氧化却不能形成连 续的Al2O3内层.讨论了纳米晶的氧化机理.

关键词: 溅射 , IN738 alloy , nanocrystalline , oxidation