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吴师岗 , 邵建达 , 易葵 , 赵元安 , 范正修
稀有金属材料与工程
通过对HfO2膜料中杂质元素的分析,找出了影响薄膜性能的主要杂质元素.结果表明:金属元素、吸收性介质元素的存在对薄膜的损毁有很大负面影响;在紫外波段,Zr元素含量大的薄膜吸收较大;并且提出负离子元素在膜料蒸发过程中形成气源中心,产生喷溅,从而使薄膜的损伤阈值降低.
关键词: HfO2膜料 , 杂质 , 金属 , 吸收性介质 , Zr元素 , 负离子元素
