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陈广超 , 黄荣芳 , 闻立时
材料研究学报
采用热丝法沉积金刚石膜.分离送入氢气和甲烷.使作为发热体的钨丝电阻值比经典的热丝法降低20%.用此法制得的金刚石晶形较好.实验表明:反应气体的流量对膜的致密生长区影响很大.
关键词: 热丝法 , null , null , null , null
