徐海萍
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孙彦平
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王俊文
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展红全
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陈新谋
稀有金属材料与工程
以TiCl4和O2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积(HF-PCVD)法制备了晶化完整的锐钛和金红石混晶型TiO2纳米晶,球形体的晶粒分散性良好,分布较为均匀;研究了控制粒径大小和晶相组成的关键反应条件.XPS,TEM,XRD结果显示:增加TiCl4进料量、延长停留时间均利于锐钛相向金红石相转化,但粒径有所增大;添加AlCl3使金红石相含量较未掺杂时有较大幅度提高,且粒径随掺铝量增加而减小.本实验条件下,TiO2纳米晶的粒径为25nm～60 nm,金红石相含量在12.0%～53.6%间可控.
关键词:
HF-PCVD
,
TiO2纳米晶
,
粒径
,
晶型
