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微波等离子体下GaN的分解与纳米金刚石膜的沉积

田寒梅 , 刘金龙 , 陈良贤 , 魏俊俊 , 黑立富 , 李成明

人工晶体学报

采用微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)技术系统地研究了GaN的分解机制.结果表明微波等离子体富氢环境促进了GaN的分解反应,分解过程由表面缺陷开始,向侧面扩展,最后沿氮极性面进行;氢等离子体中通入少量氮气能够显...

关键词: 氮化镓 , 分解 , 微波等离子体化学气相沉积 , 纳米金刚石膜