王永欣
,
王立平
,
陈建敏
,
薛群基
材料导报
随着碳基固体润滑薄膜材料的发展,具有高含量sp2杂化碳结构的高硬度类石墨碳(Graphite-like carbon,GLC)薄膜引起了研究者的广泛关注.追踪了GLC薄膜的起源,总结了GLC薄膜几种典型的高硬度结构理论,介绍了GLC薄膜的多环境自适应摩擦学特性及其在不同环境中的摩擦学研究进展,评述了GLC薄膜潜在的摩擦学应用领域,指出了GLC薄膜未来的摩擦学研究方向.
关键词:
GLC薄膜
,
结构理论
,
摩擦学特性
,
摩擦学潜在应用
严富学
,
白力静
,
殷鹏
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.02.009
采用磁控溅射离子镀技术制备了类石墨镀层(GLC),利用扫描电子显微镜(SEM)测量了镀层的厚度、X射线衍射仪(XRD)研究了材料的物相和应力,并结合透射电子显微镜(TEM)观察和分析了材料的组织结构.研究结果表明:不同偏压下得到的镀层结构相同,均为非晶为主的类石墨镀层,并且随着偏压增大,膜厚逐渐减小;在所研究的偏压下,应力变化规律是随着偏压的增加,样品与基体的复合应力先增大,后减小,其中-65V时达到最大值.
关键词:
GLC薄膜
,
薄膜应力
,
偏压
