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杨军良 , 尚付鹏 , 高鹏
人工晶体学报
本文设计了基于ARM Cortex-M3核、针对上称重法激光晶体的生长的控制方案硬件平台,运用模糊PID自适应控制算法对称重信号进行模糊处理确定晶体生长瞬间所需的温度场,根据生长模型在理论上进行了仿真,并实际运用到TDL-J50型激光单晶炉设备,实现了激光晶体的瞬时生长速率的精确而平稳的自动控制.
关键词: 晶体生长 , 提拉法 , Cortex-M3 , 模糊PID , μC/OSII
