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热处理对FeCoV薄膜磁性能的影响

杜兆富 , 李洪珠 , 王蕾 , 徐立红 , 张洪平 , 赵栋梁

金属功能材料

本文研究了热处理对FeCoV薄膜微观结构及磁性能的影响.XRD分析表明,制备态的FeCoV薄膜,(110)方向为择优取向,在250℃热处理后,开始出现(200)衍射峰.热处理过程中,随着温度的升高,薄膜内部应力的释放,以及晶粒的长大使得薄膜的矩磁比迅速增大.在温度高于340℃以后,薄膜的矩磁比增加趋缓,(200)衍射峰增强,磁晶各向异性增强.

关键词: FeCoV薄膜 , 热处理 , 磁性能