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热处理温度对FeCoSiB薄膜及FeCoSiB/Cu/FeCoSiB三明治膜应力阻抗效应的影响

张万里 , 蒋洪川 , 杨国宁 , 彭斌 , 张文旭 , 张永强

功能材料

采用DC磁控溅射法在玻璃基片上制备了FeCoSiB薄膜和FeCoSiB/Cu/FeCoSiB三明治膜,并进行磁场退火热处理以消除残余应力和形成磁织构,提高薄膜的应力阻抗效应.薄膜的磁性能采用振动样品磁强计(VSM)进行测试,采用HP4275A型阻抗分析仪在200kHz～10MHz频率范围内测试薄膜的...

关键词: 磁弹性 , 应力阻抗效应 , FeCoSiB , FeCoSiB/Cu/FeCoSiB , 磁场热处理