杨治军
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周廉
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李争显
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于振涛
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罗丽娟
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蔡玉荣
稀有金属材料与工程
采用真空电弧离子镀技术,在316L医用不锈钢基片上沉积Fe/Pt和Pt/Fe/Pt多层膜.Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜在初始沉积态是无序的fcc结构,经扩散热处理,发生相变,转变为fct有序结构的L10型Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜.经SEM、XRD分析和磁性测量表明:316L医用不锈钢表面可沉积均匀致密的Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜,经扩散热处理后,Fe-Pt形成了明显的扩散层,fcc结构的Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜部分转变为了fct结构,通过硬磁fct相与软磁fcc相的交换耦合作用,剩磁有了很大的提高.
关键词:
316L不锈钢
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磁性薄膜
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电弧离子镀
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Fe/Pt和Pt/Fe/Pt薄膜