成海涛
,
杨恒
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.014
常规的通过干法刻蚀制作纳米梁的方法会不可避免地在梁上引入晶格损伤层.本文提出一种制造无晶格损伤层纳米梁的新工艺方法.在常规光刻后,辅助利用FIB(聚焦离子束)刻蚀修改硅梁中部上方的SiO2掩模.根据单晶硅的材料和工艺特点,通过KOH各向异性腐蚀,硅梁两侧壁与硅片表面垂直,并自停止为(111)面.自停止面自校正地沿<112>晶向自硅梁中部向两端扩展,直至硅梁成型.经过冷冻干燥,最终在(110)SOI硅片上制得了宽度为112nm的单晶硅纳米梁.自校正的腐蚀方式提升了工艺稳定性,并且由于结合利用了湿法腐蚀和FIB技术,此工艺方法具有无晶格损伤层、工艺重复性好、加工精度高等优点.
关键词:
纳米梁
,
各向异性腐蚀
,
FIB
余金山
,
刘俊亮
,
张津徐
,
吴建生
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2008.01.025
为了研究合金化热镀锌镀层组织Г相的结构,采用聚焦离子束(FIB)方法制备了合金化热镀锌无间隙原子(IF)钢板镀层横截面透射电镜(TEM)试样,应用TEM对其显微结构进行了观察和选区电子衍射分析,应用X射线能谱仪(EDX)测定了Г相的化学成分,并介绍了FIB方法制备TEM试样的过程.结果表明,Г相选区衍射花样中存在明显的超点阵衍射.证明Г相是一种有序金属间化合物;计算机模拟电子衍射花样的结果给出了Г相的原子占位.
关键词:
Г相
,
TEM
,
FIB
,
超点阵反射
,
原子占位
阳运国
,
张鸣剑
,
潘军
,
伍展文
,
陈莺飞
,
徐小平
,
田海燕
,
李洁
,
崔大健
,
林德华
,
郑东宁
低温物理学报
doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2008.01.018
研究了一种利用纳米金属掩膜和离子辐照技术在高温超导YBCO薄膜上制备Josephson结的方法.首先用在YBCO薄膜甩上一层800nm左右的光刻胶(PMMA),继而在光刻胶上用直流磁控溅射的方法镀上一层大约300nm左右的Cr膜,利用紫外曝光和离子刻蚀的方法在YBCO薄膜上形成覆盖有Cr膜的微桥,然后,利用聚焦离子束系统(FIB)在微桥上刻出一个50nm左右的狭缝,最后利用120keV的H2+对狭缝内的材料进行辐照,从而使狭缝部分的材料超导电性减弱,形成类似SNS型的Josephson结.
关键词:
约瑟夫森结
,
FIB
,
离子辐照
