张文英
,
黄楠
,
孙鸿
,
冷永祥
,
杨文茂
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陈俊英
功能材料
采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(＞6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.
关键词:
DLC
,
类金刚石薄膜
,
FCVA
,
超硬超厚
尹云飞
,
车晓舟
,
李国锋
,
马洪涛
材料导报
采用FCVA方法制备厚度分别为50nm、30nm、10nm、5nm、2nm的DLC薄膜,利用可见光拉曼光谱分析薄膜的G峰位置、Id/g和Ag/Ad,发现随着薄膜厚度的减小,Id/Ig不断增大,AgAd减小,G峰位置向低波数方向移动.紫外拉曼光谱分析结果表明,薄膜厚度减薄会减小It/Lg使T峰位置向高波数方向移动.结合两种不同波长的拉曼光谱进行分析,G峰偏移量随薄膜厚度减小呈下降趋势;随薄膜厚度的减小,FCVA法制备的类金刚石薄膜中的sp3键含量减少,同时有序化的sp2团簇增加.EELS结果也证实,薄膜厚度的减小会减少薄膜中sp3键的含量.对于50nm和30nm的非晶碳膜,拉曼光谱分析的结果与薄膜硬度和内应力实际测试结果存在一致的对应关系.
关键词:
FCVA
,
超薄类金刚石薄膜
,
可见光拉曼光谱
,
紫外拉曼光谱
许世鹏
,
陈维铅
,
李玉宏
,
李晓伟
材料研究学报
doi:10.11901/1005.3093.2016.104
使用45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧系统(FCVA)制备超薄四面体非晶碳膜(ta-C),研究了弧流对薄膜结构和性能的影响.结果表明:当弧流由40A增加到70A时薄膜沉积速率提高,sp3的含量先增加后减小;当弧流为60A时薄膜sp3的含量达到最大66％,密度也达到最大(3067 kg/m3).残余压应力随着弧流的增加呈现先增加后减小的趋势,当弧流为40A时薄膜的残余应力最小(4 GPa).在碳膜沉积过程中碳源粒子有填充基体凹坑和减少基体缺陷的作用,使其表面非常光滑.超薄ta-C碳膜的表面粗糙度随着弧流的增加先降低后增加,当弧流为50A时薄膜表面粗糙度最小(0.195 nm).
关键词:
无机非金属材料
,
ta-C
,
磁过滤阴极真空电弧
,
弧流
,
结构
